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1.1定義

精密陶瓷（fine ceramics）是指用天然或合成化合物經(jīng)過成形和高溫?zé)Y(jié)制成的一類無機(jī)非金屬材料。又稱高級(jí)陶瓷、先進(jìn)陶瓷（advanced ceramics）

1.2分類

陶瓷材料主要分為傳統(tǒng)陶瓷材料和新型陶瓷材料。新型陶瓷材料主要以高純、超細(xì)人工合成的無機(jī)化合物為原料，采用精密控制工藝燒結(jié)而制成，其成分主要為氧化物、氮化物、硼化物和碳化物等。而根據(jù)其用途分類，特種陶瓷材料可分為結(jié)構(gòu)陶瓷、生物陶瓷、功能陶瓷。

通常半導(dǎo)體、平面顯示器（Flat Panel Display，F(xiàn)PD）等領(lǐng)域用到的陶瓷材料為結(jié)構(gòu)陶瓷材料，結(jié)構(gòu)陶瓷材料主要有以下幾類：

• 氧化物類型：Al2O3, ZrO2, Y2O3等

• 非氧化物類型：SiC, Si3N4, AlN, BN等

• 常用的主要是Al2O3, ZrO2, SiC, Si3N4, BN這幾種。

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【陶瓷加工】

1.3 精密陶瓷的特性

• 優(yōu)良的耐熱性、耐磨性、耐化學(xué)性、耐蝕性

• 優(yōu)良的電絕緣及耐電強(qiáng)度

• 低斷裂韌性及抗沖擊性

• 由于其高導(dǎo)熱性、耐等離子體侵蝕等特性，被廣泛用于許多領(lǐng)域。

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【深圳精密陶瓷】

1.4 精密陶瓷的應(yīng)用

以上提到的幾種主要的結(jié)構(gòu)陶瓷材料主要用于以下3個(gè)方面：

• 用于半導(dǎo)體及LCD生產(chǎn)過程中的絕緣及耐蝕性部件，如化學(xué)氣相沉積（英語：chemical vapor deposition，簡(jiǎn)稱CVD）制程中的AlN噴嘴、原子層沉積制程中的SiC基座、干蝕刻制程中的SiC邊緣環(huán)、干蝕刻工藝中的capture ring、CVD制程中的collar ring/cover ring/moer ring、SiC DC plug等

• 用于汽車業(yè)制造過程中耐熱及抗沖擊性的部件；

• 用于OLED和LED制造過程中耐化學(xué)性和能導(dǎo)熱的部件。

【東莞精密陶瓷】

1.5精密陶瓷的製程

陶瓷的基本製程主要是由原料調(diào)整→成形→燒結(jié)→加工、組裝→檢查所構(gòu)

成，但為因應(yīng)產(chǎn)品特性的變動(dòng)，製程需要和原料的特性搭配得非常適宜，才能獲

得所需的最終產(chǎn)品。原料的特性包含粒子直徑、粒子形狀、流動(dòng)與充填特性及化

學(xué)成份等主要變數(shù)，這些變數(shù)都會(huì)直接影響陶瓷成形與燒結(jié)的過程及製品的特

性，因此充分掌握這些變數(shù)，才能順利掌控整個(gè)製程。

【陶瓷工業(yè)】

2、主要產(chǎn)品

2.1 以氮化硅，碳化硅，氧化鋯陶瓷為主的精密材料陶瓷制品產(chǎn)量占世界總量的60%以上 

2.2半導(dǎo)體及液晶顯示器加工設(shè)備用陶瓷產(chǎn)品分類：

a、晶圓制造設(shè)備用陶瓷產(chǎn)品

b、曝光機(jī)設(shè)備

c、蝕刻設(shè)備

d、沉積（化學(xué)氣相沉積/陰極真空噴鍍）

3.市場(chǎng)容量

    據(jù)估計(jì)，陶瓷材料的市場(chǎng)需求量超過石英材料的需求量。三星、Intel、臺(tái)積電等半導(dǎo)體廠商用到大量的陶瓷材料。而據(jù)設(shè)備商美國(guó)應(yīng)材介紹，其石英材料的年采購(gòu)金額為6000-7000萬美元，陶瓷的采購(gòu)金額達(dá)到5億美元，陶瓷部件的售價(jià)是石英部件售價(jià)的5倍以上。